微小な流量に対応した新製品ナノシリーズ

埼玉県行田市に本社を置くサーパス工業株式会社（SURPASS）は、フッ素樹脂性液体コントロールに関する分野で多くのノウハウを蓄積し、それを生かした様々な自社ブランド製品を市場に送り出しています。

具体的には液体の流れをコントロールするレギュレータやバルブ、そしてその流れを計測する流量計や圧力センサーなどです。

それらの製品は半導体製造や医療機器など様々な分野で利用されています。

そして、サーパス工業株式会社では、その卓抜した技術を結集した新製品として、Nanoシリーズの提供を行っています。

これは、次世代の半導体・メディカル・バイオなどの分野でそれまで困難だといわれていた微小な流量の計測・調節を可能にした製品シリーズです。

微小流量計は、熱式の計測方法を採用し、微小な領域の測定が可能となっています。

そして、精密な流量調節が可能なナノニードルバルブや耐久性に優れたエアオペレートバルブなどを提供しています。